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华中科技大学电子束蒸镀机招标预告(原标题: 电子束蒸镀机)

全部类型湖北武汉2025年07月04日

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电子束蒸镀机
项目所在采购意向：	点击登录查看2025年8月政府采购意向
采购单位：	点击登录查看
采购项目名称：	电子束蒸镀机
预算金额：	450.000000万元(人民币)
采购品目：	A****工艺试验机
采购需求概况：	#34;拟购电子束蒸镀机1台。主要技术指标： 1、温度可以高达1100摄氏度，误差为+/-1%； 2、8”晶圆薄膜沉积均匀性可以达到σ lt; 1.0%, 49Pts 5mmEE。 3、设备可以运行最大8”晶圆，并向下兼容； 4、设备预留多个功能模块位置，可以方便升级，添加其他功能模块，如磁控溅射、离子刻蚀、PLD等； 5、质保：自验收合格之日起两年； 6、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。 #34;
预计采购时间：	2025-08
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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