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更换电子束曝光机的场发射灯丝和T轴马达（清采比选20251163号）采购公告
全部类型北京2025年07月06日
公告详情
| 项目名称 | 更换电子束曝光机的场发射灯丝和T轴马达 | 项目编号 | **** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | **** 07:56:41 | 公告截止日期 | **** 08:00:00 |
| 采购单位 | 点击登录查看 | 付款方式 | 合同签订后70%，验收合格后30% |
| 联系人 | 联系电话 | ||
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | 签订合同后20个工作日内 | |
| 预算总价 | ￥ 207193.00 | ||
| 发票要求 | |||
| 含税要求 | |||
| 送货要求 | |||
| 安装要求 | |||
| 收货地址 | 北京市海淀区点击登录查看蒙民伟科技大楼S102 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 公告说明 | |||
采购清单index
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 更换电子束曝光机的场发射灯丝 | 1 | 套 |
| 品牌 | Raith |
|---|---|
| 型号 | 174C |
| 预算单价 | ￥ 182000.00 |
| 技术参数及配置要求 | 20kV加速电压时，束斑尺寸可达到1.6nm；10kV加速电压，30μm光阑时，束流不小于220pA，并且室温波动不大于2℃条件下，8小时内束流波动不大于0.5%。为达到上述技术指标，供货商可视情况更换光阑等配件，同时需要保证所有配件能够与Raith 150-TWO的其他部件协调工作。总费用包含配件和一直到灯丝更换完成为止的人工费。 |
| 售后服务 | 3个月 |
采购清单index
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 更换电子束曝光机的T轴马达 | 1 | 套 |
| 品牌 | |
|---|---|
| 型号 | |
| 预算单价 | ￥ 25193.00 |
| 技术参数及配置要求 | 马达安装在Raith 150-TWO电子束曝光机上，能与其他部件协调工作，并满足以下条件： 1. 安装马达后，能实现机械臂初始化； 2. 马达可带动机械臂达到曝光机的内部的位置（inner pisition）和外部的位置（outer position）； 3. 机械臂进出时间在20~25秒之间； 4. 供货商可视情况更换样品交换仓传送带等配件； 5. 总费用包含配件和一直到马达更换完成为止的人工费。 |
| 售后服务 | 3个月 |
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