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天津大学电子束光刻采购项目
全部类型天津2025年07月07日
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| 项目所在采购意向： | 点击登录查看2025年7至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 点击登录查看 |
| 采购项目名称： | 点击登录查看电子束光刻采购项目 |
| 预算金额： | 845.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A****电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购一套电子束光刻用于高精度掩模板制造、光电芯片打样、小批量生产和微纳器件加工。该设备需采用肖特基热场发射电子束源，可实现高分辨电子束曝光和高分辨成像功能。设备公司需在国内有相应技术服务人员负责设备的安装、维修和人员培训，提供1年内的免费维保。 |
| 预计采购时间： | 2025-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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