东南大学电子科学与工程学院原子层刻蚀机采购项目（SEU-ZB-250492）招标公告

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点击登录查看电子科学与工程学院原子层刻蚀机采购项目的潜在投标人应在微信公众号“苏美达达天下”获取招标文件，并于2025年 7月 30日 14点 00分（北京时间）前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号：****
项目名称：点击登录查看电子科学与工程学院原子层刻蚀机采购
预算金额：560万元
最高限价：548万元（境内外产品最高限价均为此限价，其中境外产品不含外贸代理费），超过最高限价的为无效投标文件

采购需求：

1、反应腔由整块铝锭加工制成、无焊缝、低漏率；腔壁可加热；内腔壁耐氟基、氯基以及其他常用刻蚀气体刻蚀；本底真空≤ 1E-6 mbar；真空漏率≤ 2E-4 mbar·l/s；兼容 8英寸及以下直径的晶圆和不规则小片；不同尺寸样片之间的切换，无需反应腔的开腔破真空。

2、上、下电极之间的距离可电动调节、以优化工艺；下电极配置机械卡盘和背氦冷却，采用动态温度控制技术功能，配置外置循环冷却器和内置加热器；下电极温度控制范围不小于-20 °C到+200 °C，控温精度≤ ±1 °C。

合同履行期限：境外产品：开具信用证后300天内设备安装调试合格。
境内产品：合同签订后300天内设备安装调试合格。

本项目不接受联合体投标。
本项目接受进口产品。
本项目所属行业：工业。
本项目(非专门)面向中小企业采购。
本项目(非专门)面向监狱企业采购。
本项目(非专门)面向残疾人福利性单位采购。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定：
（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照，自然人的身份证明）；
（2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供参加本次政府采购活动前半年内（至少一个月）的会计报表（至少包含资产负债表及利润表）或者 2023年度或 2024 年度的财务审计报告，成立不足一年的提供开标前六个月内的银行资信证明原件。）；
（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力，提供证明材料或承诺函；
（4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录，提供纳税凭据复印件加盖公章。（依法免税的应提供相应文件说明）、依法缴纳社会保障资金的凭据复印件（凭据可以是缴费的银行单据、专用收据、社会保险缴纳清单或者所在社保机构开具的证明等，依法不需要缴纳社会保障资金的应提供相应文件说明）；
（5）参加政府采购活动前三年内（成立时间不足三年的、自成立时间起），在经营活动中没有重大违法记录（提供参加本次政府采购活动前 3年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明，重大违法记录是指供应商因违法经营受到刑事处罚或责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚）。
（6）法律、行政法规规定的其他条件。

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：无

3.本项目的特定资格要求：
（1）如为进口产品，需提供有效的产品授权书。

4.拒绝下述供应商参加本次采购活动：
（1）供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。
（2）凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加本项目的采购活动。
（3）供应商被“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、“中国政府采购网"(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。

三、获取招标文件

1、时间：2025年 7月 9日至 2025年 7月 15日，每天上午 09：00至 11：00，下午 14:00至 17:00（北京时间，法定节假日除外）

2、地点：本项目仅接受在线获取招标文件。

3、方式：在线获取

4、招标文件获取：每套 400元

5、在线获取采购文件操作流程如下：
（1）用微信关注我司公众号“苏美达达天下”。
（2）进入公众号-“在线服务”-“在线购标”。
（3）输入本项目的项目编号:0664-2540SUMECZF114，点击查询。添加您所要获取的采购文件到购物车，输入投标单位名称、领购人信息以及发票信息，提交订单并确认微信支付，支付完成后，经确认信息无误后采购文件电子版将发送至领购人邮箱。

注意事项：
（1）确保领购人邮箱真实准确无误，电子版采购文件将发送到此邮箱。
（2）采购文件发票仅提供增值税（电子）发票，开出后发送至领购人邮箱。
（3）“苏美达达天下”付款平台填写的投标单位名称必须与开票信息一致。如不一致投标人自行承担后果。请认真填写领购人信息及发票信息。
（4）非采购代理机构或平台公司原因，采购文件发票一经开具不予退换，请谨慎填写。

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

1、投标截止时间：2025年 7月 30日 14点 00分（北京时间）

2、开标时间：2025年 7月 30日 14点 00分（北京时间）

3、开标地点：南京市****

五、公告期限

自本公告发布之日起 5个工作日。

六、其他补充事宜

无。

七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：点击登录查看
地 址：南京市****
技术咨询：电子科学与工程学院：温老师 电话：****；
实验室与设备管理处：刘老师 电话：****

2.采购代理机构信息

名 称：点击登录查看
地　　址：南京市****
联系方式：****

3.项目联系方式

项目联系人：邓梦诗、杨扬
电　　 话：****、****

信息来源：http://www.yuncaitong.cn/publish/****/20MCU57CPPA73QVZ.shtml