榆林中科洁净能源创新研究院高精度激光干涉仪货物采购项目

采购内容:1套高精度激光干涉仪；主要功能或目标:高精度激光干涉仪用以实现项目中核心光学元件以及系统组件波前精度的精密检测和表征，指导精密光学加工、部组件调试以及系统装调的工艺过程，保障高质量激光器产品的光学性能。设备具有抗震型机械相移或同等测试和解算技术支持，光源波长632.8nm，频率稳定度＜0.0001nm，相干长度＞100m，测试RMS重复性<0.06 nm(2σ)；需满足的要求:设备采用菲索型测试光路，具备两种以上的测试模式以适应项目多种检测环境，至少包括静态移相模式和抗震移相（基于经典菲索式严格的共光路系统，其横向分辨率和纵向分辨率与静态模式相同）模式。激光波长632.8nm, 可调谐激光器输出功率>3mw，频率稳定度优于0.0001nm；相机分辨率不低于1200x1200，帧速≥160Hz；电控光学连续变焦1X-5X，高精度平面镜头两个，PV精度λ/20（PVr），RMS重复性 ≤ 0.06nm（2σ）。 设备具有稳定的光学平台支撑，具备高精度光学调整架和标准镜，用以测试平面反射镜和平面透镜的高精度波前测试。

无