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中国科学院上海高等研究院菲索干涉仪招标预告(原标题: 菲索干涉仪)

全部类型上海2025年10月27日

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菲索干涉仪
项目所在采购意向：	点击登录查看2025年11月政府采购意向
采购单位：	点击登录查看
采购项目名称：	菲索干涉仪
预算金额：	260.000000万元(人民币)
采购品目：	A****光学测试仪器
采购需求概况：	应平行平晶测量仪项目中大口径高精度光学元件波面测量需求，需要采购菲索干涉仪主机一台以及对应的标准参考镜（2件）和相应的软件等。主要技术指标：150mm口径共光路，CCD像元数:≥2.3k*2.3k；测量RMS精度：优于0.3nm；RMS重复检测精度：优于0.06nm；1/40波长标准参考镜，其中一件为高反镜。
预计采购时间：	2025-11
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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