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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学介质薄膜沉积设备招标预告(原标题: 光学介质薄膜沉积设备)

全部类型吉林长春2025年12月11日

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光学介质薄膜沉积设备
项目所在采购意向：	点击登录查看2025年12月政府采购意向
采购单位：	点击登录查看
采购项目名称：	光学介质薄膜沉积设备
预算金额：	180.000000万元(人民币)
采购品目：	A****电子工业生产设备
采购需求概况：	本设备主要用于氮化硅（SiNx）等介质光学薄膜的沉积。通过本设备的采购，可在实验室目前薄膜沉积能力（金属薄膜为主）基础上，新增高质量介质播磨沉积能力（薄膜厚度不均匀度小于等于5%），突破当前光学介质薄膜工艺对研发能力的限制，支撑平面介质超表面的高精度加工，提升实验室在高精度微纳光子制造领域的核心能力。计划采购设备1台。投标性能不应低于本技术要求所提出的相关指标要求。
预计采购时间：	2025-12
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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