湖南师范大学超长期国债第78批（物电院超高真空电子束蒸发镀膜系统）合作创新采购邀请公告

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公告时间:****

一、项目基本情况

项目编号：****

项目名称：点击登录查看超长期国债第78批（物电院超高真空电子束蒸发镀膜系统）合作创新采购

采购方式：合作创新采购

预算金额：680万元

最高研发费用：680万元，其中：研发成本补偿费用限额476万元，创新产品首购费用限额204万元。

最低研发目标：项目旨在通过合作创新采购方式与供应方共同研制一套高性能约瑟夫森结制备系统，在研发过程中形成自主知识产权，最终实现知识成果转化。该系统在总体性能上要达到国内外同类系统的水平，并能够满足点击登录查看对超导量子比特退相干时间和超导传输线振子的品质因子的要求，为未来研发更高性能的超高真空电子束蒸发镀膜系统打下基础。其中，功能研发层面：

表面清洗腔极限真空须优于2×10-9Torr。

超导材料蒸镀腔极限真空须优于8×10-10Torr。

氧化室极限真空须优于2×10-9Torr。

进样室极限真空须优于2×10-7Torr。

衬底附近的活性氧原子密度优于2×1014 原子/cm2

电子束蒸发镀膜时，4寸晶圆镀铝膜厚度100nm均一性优于±3%；离子束刻蚀时，4寸晶圆离子刻蚀二氧化硅深度20nm均一性优于±5%。

在项目研发过程中会形成一系列知识产权成果，如专利、论文等，依据双方贡献共享。最终知识成果进行转化，采购人权益占比不低于50%，剩下部分归于研发供应商。

应用场景：研发制备高性能的超高真空电子束蒸发镀膜系统，提升超导量子比特器件的退相干时间性能和超导传输线振子的品质因子，并提供具有射频氧等离子体氧化和清洗功能，总体提升约瑟夫森结制备质量，从而进一步助力应用于超导量子计算的研究。

研发期限：合同签订之日起18个月内。

本项目是否接受联合体参与：否。

二、申请人的资格要求

1、投标人的基本资格条件：投标人必须是在中华人民共和国境内注册登记的法人、其他组织或者自然人，且应当符合《政府采购法》第二十二条第一款的规定。

2、落实政府采购政策需满足的资格要求：

专门面向：中小企业 小微企业 监狱企业 福利性单位

强制分包：大型企业应将采购份额的 %分包给中小企业。

3.本项目的特定资格要求：无

4、单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同投标人，不得参加同一合同项下的政府采购活动。

5、为本采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的，不得再参加此项目的其他采购活动。

6、列入失信被执行人、重大税收违法失信主体名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的，拒绝其参与政府采购活动。

7、联合体投标。本次招标不接受联合体投标。

三、获取合作创新采购邀请书

1.时间：****09:00至****17:00

2.地点：点击登录查看（长沙市****

3.方式：现场领购，供应商持单位介绍信、法定代表人身份证明或授权委托书(附法定代表人身份证明)、个人身份证在指定地点进行报名领取。

4.售价：0元

四、提交参与合作创新采购申请文件

1.提交参与合作创新采购申请文件截止时间：****17点00分

2.提交参与合作创新采购申请文件地点：点击登录查看（长沙市****

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

1.最低研发目标、最高研发费用等有可能会根据创新概念交流情况进行实质性调整。

2.本项目后续将组织所有通过资格审查的供应商共同进行创新概念交流。

3.本项目需要落实的政府采购政策：扶持不发达地区****

七、凡对本次采购提出询问，请按以下方式联系

1.采购人信息

名称：点击登录查看

地址：湖南省长沙市****

联系方式：点击登录查看 ****

2.采购代理机构信息

名称：点击登录查看

地址：长沙市****

项目联系人：罗芳、罗婷、李谦、熊赛英、陈进良、涂亚

电话：****