ICPCVD镀膜机采购信息公示

一、项目概况

（一）项目编号：****

（二）项目名称：ICPCVD镀膜机

（三）数量：1台

（四）技术要求：

1.设备应用：SiO2沉积；

2.适用产品尺寸：兼容8寸向下（2/3/4英寸芯片、不规则芯片）加工；

3.工艺要求：①8寸均匀性≤3%；②应力≤±250MPa;

4.等离子体源：RF射频源+HF射频源；

5.气路：支持8路气体（含前驱体管路，如SiH4、NH3、O2、N2O、SF6、Ar、N2），带气体纯化装置；

6.硬件要求：MFC、气动阀、蝶阀、门阀、干泵、分子泵、真空规等部件均采用进口品牌；

7.温控系统：配备背He或冷却水系统，保持反应腔温度稳定±5℃；

8.机台配备清腔系统Dry Clean，采用上电极清洁模式或者RPS清洁模式；

9.软件要求：①工艺程序可存储数量大于100个，软件中工艺参数记录、加工过程中DC bais等参数形成log曲线、故障记录等存储容量不低于12个月，可使用光盘或软盘等便捷存储设备导出；②三级权限；

10.安全防护：配备自动灭火系统、具备安全互锁系统、漏电保护系统、报警系统、安全危害操作标识等安全防护措施；

11.机台要求：设备内部部件、整体外观配件满足洁净间使用要求，设备侧部面板易拆卸，设备表面无刮伤、掉粉尘，设备外观无锐角、利棱。

二、资格要求

（一）必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件：

1、具有独立承担民事责任的能力。

2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。

3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。

4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。

5、法律、行政法规规定的其他条件。

6、需提供参加本项目投标活动前三年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重大安全生产事故的声明以及近两年内同类产品客户清单，并至少提供1份合同证明。

7、未被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“中国政府采购网”（www.ccgp.gov.cn ）政府采购严重违法失信行为记录名单，提供网上查询结果记录（查询日期在发布公告之后），截图打印。

（二）特定资格要求：

1、参与企业必须为货物的生产厂家或代理商，代理商必须持有生产厂家代理证书（代理时间不少于1年），不接受项目授权证书。

2、本次招标不接受联合体投标。

3、参与投标的代理商注册资金需≥200万元，生产商注册资金需≥500万元。

三、供应商资料递交截止时间和地点

（一）截止时间：**** 17:30

（二）报名方式：扫描下方二维码登记报名后将报名资料（报名资料包括：特定资格要求、投标人营业执照、“信用中国”查询无不良记录截图、合同证明、授权委托书）盖章扫描发送至邮箱：****@gst-ir.com，并抄送至审计邮箱****@gst-ir.com

四、联系事项

商务联系人：杨鑫 电话：****

技术联系人：汪少伟 电话：****

五、监督、投诉渠道

1、审计监察部：

邮箱：****@gst-ir.com

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2、党委办公室：

电话：****

邮箱：****@163.com

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